氣氛爐在研制高速鋼工具氧氮共滲技術時,開始用低真空原理制造設備和試驗配套工藝(即低壓氧氮共滲技術),工件在設定的低真空上限下限范圍內自行循環加熱,爐氣在設定的時間周期內自行反復吐故納新,解決了工件在滲氮、滲碳過程的密裝生產、爐氣老化、劑而后充以工滲層均勻性等難題;根據適當增加爐壓可增加N、C原子滲速[2~4],這種先在低真空范圍變壓加熱,接著進行正壓變壓加熱的工藝及其設備稱為低真空變壓熱處理技術。工藝規定的滲爐膛在低真空至正壓大范圍變壓加熱,以中性氣體迅速置換爐膛中的空氣、水分等氧化物質,而后充以工藝規定的滲劑,使工件在設定的氣氛中加熱,加熱后如果在爐內冷卻即可實現無氧化、無脫碳淬火;如果加熱后在爐外冷卻,則工件從爐中取出時同空氣接觸,產生少量氧化而實現少無氧化加熱。
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