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    高溫爐的操作流程

    發布時間:2018-09-13 08:31:04 瀏覽次數: 39
      高溫爐的操作規程
      1 準備工作
     a,檢查電源線接觸是否良好
     b,檢查連接線是否正常
     c,檢查冷卻水是否正常
     d,檢查密封性是否正常
     e, 準備所需工具:無塵紙、無水酒精、帆布手套、作業手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
      2 開爐
    a,打開主電源開關
    b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
    c, 將輸送車開關打至 OUT
    d, 清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物
     3裝料
    a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
    b、拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并確定輸送車會到初始位置。
    c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門
     4 抽氣
    a、檢查爐門是否關緊,真空系統是否密封
    b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,
    c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
    加熱 先打開水環泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
     5.冷卻
    a、加熱結束后,按工藝條件進行冷卻;

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